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高分辩率便携式外表外表仪接纳MicroEpsilon的共焦位移传感器

宣布时候:2021-04-09 人气: 来历:上海泰明光学仪器无限公司

Micro-Epsilon公司的高精度optoNCDT 2401共聚焦位移传感器接纳了一种新型的非打仗式丈量体系,可供给便携的外表外表,成像和厚度丈量,到达纳米分辩率。

Hornet3D是由位于北安普敦郡布拉克利的体系集成专家Rhombus VS Ltd开辟的一种新型计量体系。该公司为包含半导体系体例造,光伏,显现器,电子,医疗,军事,汽车,喷墨印刷和薄膜太阳能电池板在内的浩繁行业开辟视觉,非打仗式计量和主动化利用的定制处置计划。

菱形的多学科工程师团队在高精度加工和活动节制,集成软件处置计划,整机处置,机械人集成,光束阐发,激光加工,振镜扫描和校准方面具备丰硕的经历。定制体系能够或许或许接纳多种情势,从小型自力台式平台到完全集成的20吨体系,用于搬运大型玻璃基板。

Hornet3D是公司的最新成长,是一个矫捷的模块化体系,能够或许或许针对特定的外表外表阐发利用停止定制。该体系能够或许或许指定一系列差别的传感器和相机,包含Micro-Epsilon的optoNCDT 2401共焦位移丈量传感器。

Hornet3D包含一台带有集成传感器的模块化Z轴夹具的X-Y扫描仪和舞台平台。该体系是完全可扩展的。若是须要的话,传感器或显微镜能够或许或许很轻易地移除并替换为一个替换的单元,在丈量规模和分辩率方面为用户供给了矫捷性。舞台平台可按照客户请求建造更大或更小的平台。大黄蜂供给的X-Y轴分辩率可达0.1微米。 Micro-Epsilon的optoNCDT 2401共焦传感器供给的Z轴分辩率可低至10纳米,取决于扫描参数,采样率为0.1至20kHz。

该体系还包含菱形的集成SurescanTM软件,利用户能够或许或许界说扫描地区和分辩率。能够或许或许成立2D假色采图,完全的3D动画图象,用于样品阐发和丈量的横截面阐发和根基的报告天生。数据也能够或许或许导出到第三方软件包和天生报告。

Rhombus VS Ltd手艺总监Graeme Elliner批评说:“大黄蜂已开辟了一年多了,并且不时地获得改良,当咱们寻觅适合的传感器供给商时,传感器的两个主要的挑选规范是光斑尺寸和Z轴的分辩率,从手艺上讲,Micro-Epsilon的共聚焦位移传感器系列在市场上具备好的性价比。

optoNCDT 2401共焦黑色传感器体系包含一个基于LED的节制器和一个传感器,经由过程光纤电缆毗连,长可达50米。该体系不挪动部件,是以无磨损。传感器设想有三种挑选:2400,2401和2403系列,它们一路笼盖跨越24种差别的丈量规模。另外,天下上小的共焦传感器,2402系列,直径只要4毫米,典范的长度为40-50毫米。 ATEX认证版本也可用。

optoNCDT 2401是一款松散型传感器,具备较大的断绝间隔,能够或许或许对诸如玻璃和塑料等通明资料和基材和层压板等多层外表停止单面厚度丈量。该传感器为微观外表阐发供给了极高的空间分辩率。光斑直径降落到7微米。 3毫米量程传感器的分辩率是0.12微米。

Graeme Elliner持续说道:“咱们一切的体系都必须以微米为单元停止丈量,以是咱们挑选的传感器必须能够或许或许撑持这类精度程度。在曩昔的12个月中,咱们与Micro-Epsilon成立了一个很是好的双向任务干系若是Micro-Epsilon有一个具备特定计量题目的客户,Rhombus能够或许会被请求利用其体系集成专业常识来赞助设想一个完全的处置计划。在英国市场,这类范例的干系对处置OEM的丈量题目相当主要用户,他们但愿一个完全的体系处置计划由单一来历供给。“

共焦丈量道理利用多色白光,该多色白光利用多透镜光学体系聚焦到方针外表上。透镜被支配成使得经由过程节制的色差将白光分离成单色光。到方针的特定间隔经由过程工场校准分派给每一个波长。只要精确聚焦在方针上的波长被用于丈量。从方针外表反射的这类光芒经由过程共焦孔径传递到光谱仪,该光谱仪检测和处置光谱变更。

利用共焦道理时能够或许或许到达极高的分辩率。在纳米规模内的分辩率能够或许或许经由过程扩展色谱来完成。由于核心中的色彩用于间隔信息,共焦传感用具备很是小的丈量点,这也使得丈量细小物体成为能够或许。即便是外表或衬底上小的划痕也能被靠得住检测到。

传感器的光束途径松散且齐心,使得体系能够或许或许丈量钻孔外部,由于暗影的构成,其余光学丈量方式(比方激光三角丈量)难以完成乃至不能够或许完成。

Graeme Elliner总结道:“共聚焦位移传感器与咱们的Hornet体系很是婚配,由于它们在设想上是模块化的,有一个规范的节制器和接口,只须要改换传感器头,也能够或许或许利用长的电缆,以是咱们能够或许或许处置大大都的利用题目,迄今为止咱们已在普遍的利用中利用了共焦传感器,包含印刷电路板中轨道的外表外表,丈量薄膜太阳能电池板的厚度,玻璃基板,激光微加工,喷墨打印乃至髋枢纽的磨损。“

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